納設智能副總經(jīng)理/首席營銷官李小天：國內碳化硅產業(yè)的發(fā)展還需要進行綜合性的突破和優(yōu)化
發(fā)布時間：
2024-01-26 17:58
近年來，在政府資金和其他激勵措施的支持和推動下，國內涌現(xiàn)出一大批優(yōu)秀且專業(yè)的半導體團隊和創(chuàng)業(yè)公司。伴隨著光伏和新能源汽車等優(yōu)勢產業(yè)的發(fā)展，供應鏈機遇推動化合物半導體市場愈加火熱，不斷實現(xiàn)高速增長和技術突破，競爭格局也將逐漸發(fā)生變化。
2024年，化合物半導體產業(yè)的發(fā)展前景如何？如何應對所面臨的地緣政治對行業(yè)的影響以及解決技術瓶頸問題？……這些都是行業(yè)非常關心的?！痘衔锇雽w》雜志特別推出——“新年展望（2024 Outlook）”采訪，邀請業(yè)界專家、企業(yè)高層與大家分享他們對于這些行業(yè)問題的洞察與分析。我們采訪了深圳市納設智能裝備股份有限公司 副總經(jīng)理/首席營銷官 李小天，分享他的獨到見解。
采訪嘉賓
李小天，畢業(yè)于英國帝國理工大學，研究生學歷，曾就職中國航空發(fā)動機集團參與國產大飛機C919發(fā)動機的研發(fā)設計，現(xiàn)任深圳市納設智能裝備股份有限公司副總經(jīng)理、首席營銷官，主要負責公司的產品營銷、市場研究和產品戰(zhàn)略等相關工作。
△深圳市納設智能裝備股份有限公司
副總經(jīng)理/首席營銷官
李小天
深圳市納設智能裝備股份有限公司
深圳市納設智能裝備股份有限公司成立于2018年，主要從事第三代半導體碳化硅、新型光伏材料、納米材料等先進材料領域所需的薄膜沉積設備等高端設備的研發(fā)、生產和銷售。公司以“成為全球先進材料制造設備引領者”為愿景，始終堅持自主創(chuàng)新，專注于工藝指標、耗材成本、維護效率等方面的持續(xù)優(yōu)化改進。
公司核心團隊由材料設備領域資深專家組成，自有第三代半導體碳化硅外延設備研發(fā)技術榮登“科創(chuàng)中國”先導技術榜單。公司于2020年被評定為具有高成長性的“國家高新技術企業(yè)”，2023年榮獲深圳市“專精特新”中小企業(yè)認定，也認證有ISO9001質量管理體系及售后服務體系。
CSC：碳化硅在電動汽車、光伏等領域的大規(guī)模應用勢不可擋，國內碳化硅行業(yè)還有哪些亟待克服的難點？比如技術、產業(yè)鏈協(xié)同、市場、資本等方面。
隨著近年來降碳減碳運動和可再生能源的興起，碳化硅大規(guī)模應用勢不可擋，如今6英寸商業(yè)化規(guī)模量產，8英寸指日可待。作為新興的半導體材料，國內碳化硅產業(yè)上有數(shù)個環(huán)節(jié)依然有亟待攻克的技術難題。
技術方面：
在碳化硅長晶環(huán)節(jié)，碳化硅獨特的物理化學性質導致其晶體生長，晶片加工都很困難。提高碳化硅晶體生長技術，擴大尺寸，降低缺陷密度以及良率提升是一個漫長的過程。這些年市場出現(xiàn)許多新技術包括液相法，HTCVD技術，激光切割技術等，但是工業(yè)化應用有一段長路要走；在碳化硅外延環(huán)節(jié)，除了常規(guī)的檢測手段以外，目前外延產品的真正的合格與否還需要送樣下游流片，并且時常需要通過一些破壞性測試來檢測其相關性能是否最終達標，產品的有效性可靠性檢測在產業(yè)環(huán)節(jié)的把控至關重要，因此需要優(yōu)化檢測手段來提升對產品質量的把控。
在碳化硅器件制造環(huán)節(jié)，其工藝成熟度沒有傳統(tǒng)的硅器件高，需要針對碳化硅的性質和器件的設計要求，優(yōu)化制造工藝流程，包括氧化、沉積、刻蝕、電極制備等環(huán)節(jié)。批量生產車規(guī)級的MOSFET器件的良率有待進一步提升。
產業(yè)鏈協(xié)同方面：
碳化硅產業(yè)鏈涵蓋襯底材料、外延生長，器件模組、應用等多個環(huán)節(jié)，可靠性提高和成本控制需要原材料供應商、設備廠商、芯片制造商、模塊集成商等之間的緊密合作。國內產業(yè)鏈的完善和自主可控是個長期過程。
市場方面：
碳化硅因為其優(yōu)異的物理和電氣性能獲得市場的廣泛認可，但是其推廣需要更有競爭力的成本。性價比提升的同時開發(fā)更多應用場景，豐富碳化硅的產品和解決方案，與下游應用端深度結合，增加碳化硅器件的使用場景，提升碳化硅的市場接受度。
資本問題：
半導體行業(yè)的發(fā)展離不開政策的推動和資本的扶持，碳化硅項目從研發(fā)到量產通常周期較長，有長期的驗證流片工作需要落實，且碳化硅的原材料單價和研發(fā)生產設備單價成本高，這使得企業(yè)對資本的支持有很大依賴，需要持續(xù)的資金投入。
綜上所述，國內碳化硅產業(yè)的發(fā)展還需要在技術研發(fā)創(chuàng)新、產業(yè)鏈構建聯(lián)系、市場開拓、資本投入等方面進行綜合性的突破和優(yōu)化。隨著全球節(jié)能減排大環(huán)境的推動，國內外市場對高效節(jié)能器件需求必將持續(xù)增加，碳化硅作為寬禁帶半導體材料的代表之一，未來必將在新能源產業(yè)中占據(jù)重要地位。
CSC：化合物半導體國產設備一直在迭代追趕中，對比國際競品產品或技術我們還有哪些提升空間？（可以就某一類型設備具體陳述）
中國在化合物半導體國產設備方面的迭代升級是一個全方位的過程，涉及技術創(chuàng)新、產業(yè)鏈協(xié)同、品質控制等多個層面。
納設智能主營碳化硅外延設備，就外延設備而言，根據(jù)InSemi的碳化硅設備市場報告，國內碳化硅外延市場僅國產設備市場存量已超370臺，對比碳化硅全產業(yè)鏈所需設備的國產替代現(xiàn)狀，碳化硅外延設備的國產化率“遙遙領先”。在碳化硅外延設備方面，納設智能持續(xù)圍繞提升工藝指標、降低耗材成本、降低維護頻次方面進行迭代優(yōu)化，在23年推出更大尺寸的具備更多創(chuàng)新技術的外延設備，兼容6&8英寸的外延生長，具備獨特的氣路設計與反應室結構，更好地提高均勻性，降低缺陷與耗材成本。
作為設備廠商，我們覺得產業(yè)需要加強對國產設備關鍵零部件的自主研發(fā)設計能力，減少對進口零部件的依賴，提高技術獨立性和設備的可持續(xù)發(fā)展能力；再者，穩(wěn)定性和重復性是確保設備可靠的關鍵因素，國產設備需要從機械結構設計、傳感精度、控制算法等多方面著手，圍繞設備的整機性能不斷的優(yōu)化迭代，確保設備穩(wěn)定可靠；最后，國產設備廠商還需進一步優(yōu)化技術支持和售后服務體系，快速有效響應客戶需求，提升客戶滿意度。
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